ZhenAn, vilka är de grundläggande metoderna som vanligtvis används för att testa målmaterialkorn?

ZhenAn, vilka är de grundläggande metoderna som vanligtvis används för korntestning av målmaterial?

Målmaterial är vanligtvis polykristallina, med kornstorlekar från mikron till millimeter. Ju finare korn, desto större korngränsyta, och desto större påverkan på prestandan. För samma målmaterial har mål med fina korn en snabbare sputterhastighet än mål med grova korn. Mål med mindre kornstorleksvariationer (likformig fördelning) ger mer enhetliga tjockleksfördelningar i sputtrade filmer. Forskning har funnit att om kornstorleken för ett titanmål kontrolleras under 100 μm, och variationen i kornstorlek hålls inom 20 %, kan kvaliteten på den resulterande förstoftade filmen förbättras. Betydande förbättring.

Tre grundläggande metoder för testning av målkornstorlek
1. Jämförelsemetod: Jämförelsemetoden kräver inte att man räknar korn eller skärningar. Vid jämförelse med en standardserie av klassificeringsdiagram uppvisar kornstorleksbedömning med jämförelsemetoden i allmänhet en viss grad av avvikelse (±0,5 nivåer). Reproducerbarheten och reproducerbarheten för de bedömda värdena är vanligtvis ±1 nivå.

2. Areametod: Areametoden räknar antalet korn inom ett känt område och använder antalet korn per ytenhet för att bestämma kornstorleksgraden. Noggrannheten för denna metod är en funktion av den beräknade kornstorleken, och med korrekt räkning kan en noggrannhet på ±0,25 nivåer uppnås. Resultaten av areametoden är opartiska, med en reproducerbarhet på mindre än ±0,5 nivåer. Nyckeln till att bestämma kornstorlek med arealmetoden ligger i att räkna korn som tydligt avgränsar korngränserna.

3. Skärningsmetod: Antalet skärningar beräknas genom att räkna antalet skärningar där ett testlinjesegment (eller rutnät) med känd längd skär korngränserna. Kornstorleksgraden bestäms med hjälp av antalet skärningar per längdenhet. Noggrannheten hos interceptmetoden är en funktion av antalet beräknade intercepts eller intercepts, och kan uppnås genom effektiv statistisk analys. ±0,25 nivånoggrannhet. Mätresultaten för interceptmetoden är -fria och reproducerbarheten och reproducerbarheten är mindre än ±0,5-nivån. För samma noggrannhetsnivå kräver interceptmetoden inte exakt markering av interceptpunkter eller interceptnummer, så den är snabbare än areametoden.